9月20日,山東省重大實施類項目——德州有研億金集成電路用高純濺射靶材生產項目順利投產,對促進我國集成電路產業穩定發展具有重要意義。

投產儀式現場(圖據:韓哲)
相關負責人介紹,項目位于山東省德州市天衢新區,總建筑面積約4.5萬平方米,系中國有研集團所屬有研億金新材料有限公司投資建設,主要用于高純濺射靶材高端產品的研發與生產制造。該產品是集成電路制造用關鍵材料之一,在國民經濟、國防建設及現代化信息化社會中具有極其重要的戰略意義。項目建成投產后,預計年產4.3萬塊12寸高純濺射靶材,有助于優化和改善靶材產品結構和生產工藝,強化高純金屬半導體濺射靶材的生產制造,進一步擴大靶材產能,滿足國內大規模集成電路行業的需求。

項目全景航拍(圖據:韓哲)
“高純濺射靶材為高端芯片制造重要組成部分,其對吹掃干燥靶材的壓縮空氣潔凈度及濕度有著極高要求。”作為項目建設單位的中國五冶集團相關工作人員表示,在設備安裝過程中,項目團隊采用了具備環保、高強度優勢的鋁管材料和專用接頭安裝,進一步減少施工過程中對管道的污染,保證了壓縮空氣滿足生產需要。為打造百分百高品質現場,項目團隊及時優化網絡計劃、搶抓一切有效施工時間,實現了提前竣工驗收,為項目順利投產打下堅實基礎。同時,該項目也因出色的質量管理榮獲了德州市建設工程優質結構工程稱號。